深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司HORIBA 流量計(jì)液體流量計(jì) LF-F50M-A,10g min,2CR,TEOS

型號(hào)LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A全標(biāo)度流量(g/min)0.02/0.05/0.10.2/0.51/2/510/2050/100檢測(cè)控制范圍5?99% F.S.對(duì)象液體種類(lèi) *1可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。液體粘度 *2值. 0.1 Pa·s (100cp)精度 *3±1% F.S.直線性 *3±0.5% F.S.重復(fù)性 *3±0.5% F.S.響應(yīng)精度3秒以內(nèi) (T98)2秒以內(nèi) (T98)使用環(huán)境溫度 *45?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)溫度影響 Span±0.1%F.S./℃ 值±1%工作差壓值值 *5值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)耐壓10MPa (視為流量計(jì))壓力損失值. 500Pa流量設(shè)定信號(hào)模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)流量輸出信號(hào)模擬：0?5 VDC(負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)驅(qū)動(dòng)電源+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA外部泄漏規(guī)格5×10-12Pa·m3/s (He)接液部材質(zhì)SUS316L, Ni標(biāo)準(zhǔn)接頭1/16" ， 1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型1/4" SWL類(lèi)型 1/4" VCR 類(lèi)型名稱(chēng)質(zhì)量流量控制器型號(hào)LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)全標(biāo)度流量(g/min)0.02/0.05/0.10.2/0.51/2/510/2050/100檢測(cè)控制范圍5?99% F.S.對(duì)象液體種類(lèi) *1可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。液體粘度 *2值. 0.01 Pa·s (10cp)精度 *3±1% F.S.直線性 *3±0.5% F.S.重復(fù)性 *3±0.5% F.S.響應(yīng)精度3秒以內(nèi) (T98)2秒以內(nèi) (T98)使用環(huán)境溫度 *45?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)溫度影響Span±0.1%F.S./℃ 值±1%工作差壓值 *50.05?0.3MPa耐壓1MPa壓力損失ー流量設(shè)定信號(hào)模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)流量輸出信號(hào)模擬：0?5 VDC(負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)驅(qū)動(dòng)電源+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA外部泄漏規(guī)格PO 類(lèi)型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類(lèi)型： 5×10-12Pa?m3/s (He)接液部材質(zhì)PO 類(lèi)型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類(lèi)型： SUS316L，Ni標(biāo)準(zhǔn)接頭1/16" ， 1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型1/4" SWL類(lèi)型 1/4" VCR 類(lèi)型*1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先所使用 的液體。)

?不能檢測(cè)含有固體物的液體。

?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)行咨詢協(xié)商。

?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)诙?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過(guò)濾器。

*2： LF-F類(lèi)型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 值， 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)行咨詢協(xié)商。

*3： 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。

*4： 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。

*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。