FC-R7810CD質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間：2025-03-18
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詳情介紹

FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質(zhì)密封具備優(yōu)異的低泄漏特性，可適用于絕大多數(shù)氣體控制應(yīng)用。提供行業(yè)通用和AE*電氣信號(hào)可選方案，可方便對(duì)用戶(hù)使用的質(zhì)量流量控制器（MFC）進(jìn)行替換，操作簡(jiǎn)單。

特點(diǎn)：

◆高精度

◆高信賴(lài)和可靠性

◆耐腐蝕設(shè)計(jì)

◆采用金屬密封材質(zhì)

◆VCR、Swagelok互換的氣路接口

◆10SCCM－200SLM滿(mǎn)量程范圍

◆方便的互換性

◆高速應(yīng)答***的統(tǒng)一性，目前世界上有大約7萬(wàn)只在運(yùn)行中的產(chǎn)品，內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶(hù)贊譽(yù)

◆方便的互換性

技術(shù)參數(shù)：

性能指標(biāo)	FC-R7800CD/FC-R7800D系列	FC-R7810CD/FC-R7810D系列	FC-R7820CD/FC-R7820D系列
滿(mǎn)量程范圍	10Sccm-5Slm	N/O:6-20slm* N/C:6-50slm**	35-200Slm
響應(yīng)時(shí)間	滿(mǎn)流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒		滿(mǎn)流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒
精度	≤±1%滿(mǎn)量程	≤±2%滿(mǎn)量程
線性鍍	≤滿(mǎn)量程±0 5%	≤滿(mǎn)量程±0 5% ＃1	≤滿(mǎn)量程±1%
重復(fù)性	≤滿(mǎn)量程±0.2%
泄漏率	1X10E-11 Pa.m ?/sec
控制范圍	滿(mǎn)流量的2%-5% #2
壓差	49Kpa-275Kpa	69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa	147Kpa-275Kpa
正常工作壓力	490Kpa
進(jìn)氣壓力	980Kpa
溫度范圍	5-45℃(41-113℉)
輸入電源	+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA		+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA
功率	3.1W max		3.5W max
輸入信號(hào)	0-5 VDC
輸出型號(hào)	0-5 VDC
控制閥形式	常開(kāi)或常閉電磁閥
密封件	金屬密封
材質(zhì)	316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠）
標(biāo)準(zhǔn)接口	1/4"VCR和Swagelok兼容		3/8"VCR,1/4"VCR
重量	1.0KG		2.7KG